Дишинг көрді - Dicing saw

Thibaut Diamond сым арасы
Тас өндірісіндегі гауһар сым аралар

A кесу түрі болып табылады көрді ол өте жұқа жабдықталған жоғары жылдамдықты шпиндельді қолданады алмас жүзі немесе алмас сым[1] текшелерді кесу, кесу немесе ойықтау үшін жартылай өткізгіш вафли, кремний, шыны, қыш, кристалл, және көптеген басқа материалдар түрлері.

Кесетін аралау - кесу машиналарының бір түрі. Кремний пластинасын кесуге арналған кескіште қолдануға арналған кескіш. Қазіргі уақытта диаметрі 200мм немесе 300мм, 0,05мм болатын кремний пластиналарын негізгі кесу мүмкін, шайырдағы өндірістік алмазды жасыратын алмазды пышақ негізгі болып табылады. Сондай-ақ, пышақтардың қалыңдығы тақырыптық материалға байланысты өзгереді, бұл кремний пластинасын кесу кезінде шамамен 20 мкм ~ 35 мкм құрайды. DISCO корпорациясы мен Accretech (Токио Сеймитсу) сияқты жапондық компаниялардың үлесі 90% құрайды. Бұрын пластинаның қалыңдығының 2/3 дәрежесін кесу үшін жартылай кесіп тастадық, бұл диаметрі үлкен диаметрде, таспаның үстінде, барлық пластинаны толық кесу негізгі ағымға айналды. Сонымен қатар, процестен бұрын және кейін, кескіш арадан бастап (үлгіні жарты бөліп алдын ала кесілген вафли таспасын бөлуге чипке жабыстырып, вафлинің қалған бөлігін бөліңіз) (жартылай кесілген) ⇒ кеңейтілді, есептегіш (кадрлық таспа (негізінен ультрафиолет) таспаны салыңыз) және вафлиді бір уақытта қойыңыз) ⇒ кесу арасына өзгертілді (толық кесілген) VUV сәулелену.

Сондай-ақ қараңыз

Әдебиеттер тізімі

  1. ^ «Жалғыз жүзді ара немесе көлденең гауһар сым ара?». Тибо. Алынған 2020-07-29.